下载一种适用于柔性电子器件的曲面转印装置及方法的技术资料

文档序号:38348691

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种适用于柔性电子器件的曲面转印装置及方法,属于半导体器件制造领域,其包括基架、固定在基架上的驱动变形模块以及配套设置的气压控制模块和辅助变形模块,其中:驱动变形模块包括呈阵列密集排布的插针和测距传感器,插针可上下移动地贯穿安装...
该专利属于湖北芯研投资合伙企业(有限合伙)所有,仅供学习研究参考,未经过湖北芯研投资合伙企业(有限合伙)授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。