下载大盘检测方法的技术资料

文档序号:38342834

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本发明属于研磨抛光技术领域,公开一种大盘检测方法,包括步骤S1:检测上盘和下盘之间的吻合度,步骤S1包括:在下盘上铺设压敏纸,下盘的内侧环形区、中间环带区以及外缘环形区均至少部分覆盖有压敏纸;控制上盘下落至压紧下盘;在上盘压紧下盘预设时间T...
该专利属于苏州博宏源机械制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州博宏源机械制造有限公司授权不得商用。

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