下载一种高灵敏度柔性温度压力双模解耦和传感器的技术资料

文档序号:38341725

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本发明属于柔性传感器技术领域,具体涉及一种高灵敏度柔性温度压力双模解耦和传感器。本发明提供了一种温度压力双模传感器,由下到上包括依次层叠设置的第一柔性电极、压力传感层、第二柔性电极和温度传感层;所述压力传感层的上表面设置有凸起和凹陷;所述压...
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