下载一种半导体硅片传输设备的技术资料

文档序号:38340791

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本发明涉及半导体硅片技术领域,尤其是指一种半导体硅片传输设备;包括工作台和堆叠板;所述工作台的上表面设置有传输带,所述传输带通过外接传输轮运转带动;所述传输带的上表面安装有两对支撑架,一对支撑架由两个支撑杆构成;所述支撑架的顶部安装有油缸;...
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