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操纵多结垂直腔表面发射激光器的光束发散度制造技术
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文档序号:38335328
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多结垂直腔表面发射激光器(VCSEL)可以包括基板、顶部接触部和堆叠体,该堆叠体包括形成在基板和顶部接触部之间的一组层。在一些实施方式中,形成在基板和顶部接触部之间的所述一组层可以包括腔、第一分布式布拉格反射器(DBR)对以及第二DBR对,...
该专利属于朗美通经营有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗美通经营有限责任公司授权不得商用。
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