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基于从衍射结构产生高阶谐波的量测设备和量测方法技术
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下载基于从衍射结构产生高阶谐波的量测设备和量测方法的技术资料
文档序号:38333022
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披露了用于测量衬底上的衍射结构的量测设备和方法。所述量测设备包括:辐射源,所述辐射源能够操作以提供第一辐射以用于激发所述衍射结构,使得从所述衍射结构和/或衬底产生高阶谐波的第二辐射;以及检测装置,所述检测装置能够操作以检测所述第二辐射,所述...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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