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本申请涉及一种多工位生长板状氟化物晶体的装置及操作方法，所述装置包括真空腔体、升降机构、设置在所述真空腔体的多个保温机构，每个所述保温机构内设有发热器、坩埚和坩埚杆，其中，所述多个保温机构用于形成容置所述氟化物晶体的多个生长工位，所述保温机...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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