下载大载荷末端执行机构及多手腕晶圆机器人的技术资料

文档序号:38324404

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本发明提供一种大载荷末端执行机构,包括:第一驱动组件;第一末端执行器,第一末端执行器包括多个第一末端执行手腕;第一传动组件,第一末端执行器转动设置于第一传动组件上,第一传动组件包括第一空心转轴、第一上轴承以及第一下轴承;第一空心转轴包括容置...
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