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本发明涉及一种晶硅电池及其ALD提效工艺与应用，所述晶硅电池的ALD提效工艺包括如下步骤：(1)在反应装置中放入硅片，循环通入水蒸汽，在所述硅片表面生成薄膜；(2)通入钝化反应气，在所述薄膜表面生成钝化层，完成所述ALD提效工艺。本发明在钝...
该专利属于横店集团东磁股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过横店集团东磁股份有限公司授权不得商用。

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