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循环装置制造方法及图纸
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文档序号:38321730
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一方案的循环装置具备储存液体的储存部、以及喷出液体的液滴喷出部,并对在将储存部与液滴喷出部之间连通的流路中流动的液体的循环进行控制。这样的循环装置具备机器人部、第一压力施加部、第二压力施加部、第一阀部以及第二阀部。机器人部搭载液滴喷出部。第...
该专利属于京瓷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过京瓷株式会社授权不得商用。
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