温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供了用于等离子体处理室系统中的部件。用于处理室系统中的部件包含主体部件本体，该主体部件本体包含镁铝氧氮化物和助烧结剂。该助烧结剂包含氧化钇、钇铝酸盐、稀土金属氧化物和稀土金属铝酸盐中的至少一者。物和稀土金属铝酸盐中的至少一者。物和稀土金属...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。