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本公开涉及低温静电卡盘，要解决的技术课题在于提供一种能加装于设备中同时不在设备中形成霜、冰或水分等的低温静电卡盘。为此，本公开提供一种低温静电卡盘，包括：底座构件；及支撑构件，所述支撑构件由在所述底座构件上涂布的第一介电层、在所述第一介电层...
该专利属于株式会社EST所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社EST授权不得商用。

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