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本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了一种夹持装置。该夹持装置包括底板以及安装在底板上的至少三个夹持单元，夹持单元包括轴向限位组件、径向限位组件以及顶板，轴向限位组件包括第一安装座和设置在第一安装座上的承托件，第一安装座滑动设置在底板上；...
该专利属于宁波芯丰精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波芯丰精密科技有限公司授权不得商用。

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