下载硅棒切割装置的技术资料

文档序号:38282146

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本实用新型涉及一种硅棒切割装置,包括驱动机构和工件板,工件板用于连接固定晶棒。驱动机构包括第一驱动组和工作台,工作台设置有卡接部,卡接部包括第一段和第二段,且第二段的尺寸大于第一段的尺寸。工件板设置有具有第一开口的卡接槽,卡接部能够通过第一...
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