下载气体传感器的技术资料

文档序号:38281711

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本发明公开了一种气体传感器,包括封装件和芯片组件,封装件上形成有第一电极组和在厚度方向贯穿封装件的槽孔;芯片组件包括基底、加热层和气敏层,基底具有在厚度方向相对设置第一表面和第二表面,加热层以及与加热层电连接的加热电极设置于第一表面上,气敏...
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