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本实用新型公开了一种防漏气的单晶硅片真空加热装置，其包括：真空加热箱、电加热管、密封圈和接头，所述真空加热箱顶部设置有密封板，所述密封板上间隔设置有与电加热管一一对应的安装孔，所述安装孔上方设置有安装座，所述安装座顶面内凹设置有与安装孔连通...
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