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一种基于互补开口谐振环的高温压力传感器制造技术
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文档序号:38267931
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本实用新型公开了一种基于互补开口谐振环的高温压力传感器,包括高温共烧陶瓷基底和波导谐振腔,所述高温共烧陶瓷基底的内部设置有密封空腔,所述密封空腔内部嵌入装配有波导谐振腔,所述波导谐振腔包括金属基底,所述金属基底的上表面设置有金属阵列通孔组,...
该专利属于太原学院所有,仅供学习研究参考,未经过太原学院授权不得商用。
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