下载一种半导体的生产加工电镀装置及电镀工艺的技术资料

文档序号:38245526

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本发明涉及半导体加工技术领域,公开了一种半导体的生产加工电镀装置,包括机架,机架的内部嵌合安装有多组加工槽,且每组加工槽的底部连接有药水箱,药水箱通过操作箱进行控制供料,每组加工槽的一侧均设置有下料组件;下料组件的内部包括有伺服电机,且伺服...
该专利属于江苏纳沛斯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏纳沛斯半导体有限公司授权不得商用。

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