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本申请实施例提供一种MEMS器件及其制备方法，其中MEMS器件包括：衬底；基于所述衬底形成的第一电极层；位于第一电极层上的第二电极层，所述第二电极层包括横梁与锚点；所述横梁悬置于所述第一电极上，所述横梁沿第一方向延伸且具有相对设置的两端，所...
该专利属于北京燕东微电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京燕东微电子股份有限公司授权不得商用。

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