下载一种镀膜均匀性监测与调控系统和方法的技术资料

文档序号:38236211

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本发明实施例提供一种镀膜均匀性监测与调控系统和方法,该系统包括:真空卷绕镀膜装置,其包括放卷机构、用于对基膜进行蒸镀的蒸发机构和收卷机构;温度测定装置,用于测量所述蒸发机构的温度值;面阻测试装置,用于测量所述基膜的面阻值;控制装置,用于根据...
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