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本实用新型涉及一种平整度测试装置，包括测试台、真空泵和测试组件，测试台上设有用于放置抛光垫的承载面，承载面上分布有多个气孔；真空泵的入口与气孔连通，用于对承载面与抛光垫之间的空间抽真空；测试组件上包括多个测距传感器，测距传感器与承载面相对设...
该专利属于上海芯谦集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海芯谦集成电路有限公司授权不得商用。

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