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基于自隔离技术的介质场增强SOI耐压结构制造技术
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下载基于自隔离技术的介质场增强SOI耐压结构的技术资料
文档序号:3823272
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本发明公开了一种基于自隔离技术的介质场增强SOI耐压结构,包括半导体衬底层,介质埋层和半导体有源层,在所述半导体有源层上部设置有漂移区层,在所述半导体有源层的下部设置有至少一个界面岛型埋层,所述界面岛型埋层位于介质埋层上方,所述漂移区层和界...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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