下载一种TVS器件及其制造方法的技术资料

文档序号:38231429

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本发明提供了一种TVS器件及其制造方法,TVS器件包括:基板主体,所述基板主体包括元胞区、触发区和终端区;所述元胞区中形成有MOS管,所述触发区中形成有TVS管;所述TVS管为二极管结构,所述二极管的P区和N区通过对硅进行掺杂形成,且所述P...
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