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本发明涉及一种基于单变量时序数据生成知识点的方法,包括:获取单变量时序数据,所述时序数据为半导体制造过程中设备的传感器产生的数据;将所述时序数据中时间排序在前的目标子序列输入到预测模型中,得到预测数据;根据所述预测数据与所述时序数据中接续所...该专利属于深圳智现未来工业软件有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳智现未来工业软件有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种基于单变量时序数据生成知识点的方法,包括:获取单变量时序数据,所述时序数据为半导体制造过程中设备的传感器产生的数据;将所述时序数据中时间排序在前的目标子序列输入到预测模型中,得到预测数据;根据所述预测数据与所述时序数据中接续所...