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本实用新型涉及晶圆干燥技术领域，尤其涉及晶圆干燥设备，包括：装置本体，所述装置本体上转动设置有放料门，所述放料门的一侧安装有控制器，所述装置本体内固定安装有支撑杆，所述支撑杆上设置有固定块，所述固定块内连接有伸缩杆，所述伸缩杆为电动杆，所述...
该专利属于常州力马干燥科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州力马干燥科技有限公司授权不得商用。

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