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提供一种互连的制造方法。该方法包括形成拓扑半金属层。该方法还包括图案化拓扑半金属层以形成一个或多个互连。该方法还包括在一个或多个互连之间形成电介质层。该方法还包括在一个或多个互连和电介质层的顶部上形成密封电介质盖层。电介质盖层。电介质盖层。...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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