温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开的一种飞秒激光加工不规则曲面的三维形貌分析方法及系统，属于非硅微纳制造技术领域。本发明包括飞秒激光协同五轴联动精密平移台系统、CCD成像系统、三维形貌显微成像系统、复杂曲面轮廓分析系统。五轴加工平台的转台旋转中心、特制装夹工件的中...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。