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本发明公开了一种陶瓷圆盘加热装置及方法，涉及到芯片检测技术领域，采用圆形陶瓷板和石墨烯加热丝加热结构的设计，可实现应用于均匀旋转加热的功能；上下两块陶瓷板的设计可实现对石墨烯加热丝的保护，以及导热的均匀性，另外，在陶瓷基板上设置温度检查的检...
该专利属于深圳市诺泰芯装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市诺泰芯装备有限公司授权不得商用。

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