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本发明提供减小送液泵的容积并且能够实现脉动小的送液的技术。本发明的送液泵具备：第一柱塞泵，其具有第一柱塞；第二柱塞泵，其具有第二柱塞，并与所述第一柱塞泵串联连接；压力传感器，其配置于所述第二柱塞泵的下游；以及控制部，其接受所述压力传感器测定...
该专利属于株式会社日立高新技术所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社日立高新技术授权不得商用。

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