下载一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器的技术资料

文档序号:38207057

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本发明涉及一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器,其包括保护机构,保护机构的内壁顶部固定连接有第一柔性衬底,保护机构的内壁底部固定连接有第二柔性衬底,第一柔性衬底的下表面固定连接有第一碳纳米管层,第二柔性衬底的上表面固定连接有第二碳纳米管...
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