一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器制造技术

技术编号:38207057 阅读:13 留言:0更新日期:2023-07-21 16:55
本发明专利技术涉及一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器,其包括保护机构,保护机构的内壁顶部固定连接有第一柔性衬底,保护机构的内壁底部固定连接有第二柔性衬底,第一柔性衬底的下表面固定连接有第一碳纳米管层,第二柔性衬底的上表面固定连接有第二碳纳米管层,第一碳纳米管层与第二碳纳米管层的接触面之间均匀固定连接有隔离机构;本发明专利技术涉及传感器的技术领域。该基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器在使用时,通过保护机构能起到一定的保护作用,尽量避免出现液体进入第一柔性衬底与第二柔性衬底之间的第一碳纳米管层和第二碳纳米管层部位的情况,从而能够增强本发明专利技术的使用效果,增大本发明专利技术的使用寿命。增大本发明专利技术的使用寿命。增大本发明专利技术的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器


[0001]本专利技术涉及传感器的
,尤其是涉及一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器。

技术介绍

[0002]微纳结构指的是利用正确的原子级组件结合精确控制的机械技术在原子尺度上设计、制造和完善微小结构和机械系统。微纳结构利用在微米尺度上构建的结构来实现许多物理现象。柔性压力传感器是压阻式应变传感器的主要组成部分之一,柔性压力传感器的工作原理是吸附在基材上的应变电阻随机械变形而变化,俗称电阻应变效应。柔性压力传感器是一种能够感知压力信号,并按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出电信号的装置或设备,柔性压力传感器可以测量特定位置相对于大气的压力。
[0003]现有的部分基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器在使用时,柔性压力传感器上所设置的第一柔性衬底与第二柔性衬底之间留有空隙,当柔性压力传感器贴在人员皮肤上使用时,人员可能会出现流汗的情况,当汗液进入柔性压力传感器内部时,可能会影响柔性压力传感器的使用效果,严重还会导致柔性压力传感器损坏,不利于实际使用,因此,本领域技术人员提供了一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0004]为了解决柔性压力传感器上所设置的第一柔性衬底与第二柔性衬底之间留有空隙,当柔性压力传感器贴在人员皮肤上使用时,人员可能会出现流汗的情况,当汗液进入柔性压力传感器内部时,可能会影响柔性压力传感器的使用效果,严重还会导致柔性压力传感器损坏,不利于实际使用的问题,本专利技术提供一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器。
[0005]本专利技术提供的一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器采用如下的技术方案:一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器,包括保护机构,所述保护机构的内壁顶部固定连接有第一柔性衬底,所述保护机构的内壁底部固定连接有第二柔性衬底,所述第一柔性衬底的下表面固定连接有第一碳纳米管层,所述第二柔性衬底的上表面固定连接有第二碳纳米管层,所述第一碳纳米管层与所述第二碳纳米管层的接触面之间均匀固定连接有隔离机构,所述第一碳纳米管层和所述第二碳纳米管层的一侧均固定连接有传输机构,所述传输机构的一端贯穿所述保护机构为所述保护机构的外部,所述保护机构的下表面固定连接有生物胶层,所述生物胶层的下表面粘贴有硅油纸层。
[0006]通过采用上述技术方案,保护机构能对设置的第一柔性衬底和第二柔性衬底起到一定的保护作用,在本专利技术使用时能够尽量避免出现液体进入第一柔性衬底与第二柔性衬底之间的情况,从而能够增强本专利技术的使用效果,增大本专利技术的使用寿命,第一碳纳米管层
与第二碳纳米管层之间在受到挤压相互接触时能够进行导电,在第一碳纳米管层与第二碳纳米管层之间的接触面大小不同时,能够改变传输机构所输出的电阻大小,从而便于人员对压力进行监测。
[0007]优选的,所述保护机构包括柔性外罩,所述柔性外罩的内部开设有置物槽,所述第一柔性衬底、所述第二柔性衬底、所述第一碳纳米管层、所述第二碳纳米管层和所述隔离机构均位于所述置物槽的内部。
[0008]通过采用上述技术方案,柔性外罩通过开设的置物槽能限制第一柔性衬底、第二柔性衬底、第一碳纳米管层、第二碳纳米管层和隔离机构的安装位置,同时也起到一定的防水作用。
[0009]优选的,所述隔离机构包括位于所述第一碳纳米管层与所述第二碳纳米管层之间的弹性柱体,所述弹性柱体的上表面均匀固定连接有第一弹性筋,所述第一弹性筋的顶端与所述第一碳纳米管层的下表面固定连接,所述弹性柱体的下表面均匀固定连接有第二弹性筋,所述第二弹性筋的底端与所述第二碳纳米管层的上表面固定连接。
[0010]通过采用上述技术方案,弹性柱体能够限制第一弹性筋和第二弹性筋的安装位置,第一弹性筋和第二弹性筋有一定的弹性,能够限制第一碳纳米管层和第二碳纳米管层与弹性柱体之间的位置,尽量避免本专利技术在弯折时,出现隔离机构与连接部位开裂的情况。
[0011]优选的,所述传输机构包括导线,对称设置的所述导线的一端分别与所述第一碳纳米管层和所述第二碳纳米管层的一侧固定连接,所述导线的另一端固定连接有接线端子。
[0012]通过采用上述技术方案,导线能够将电流进行传输,接线端子能够便于导线与监测设备进行连接。
[0013]优选的,所述接线端子的外壁均匀固定连接有防滑条,所述防滑条为横向设置。
[0014]通过采用上述技术方案,防滑条在人员拔插接线端子时能增大与手部的摩擦力。
[0015]优选的,所述柔性外罩外侧壁固定连接有防护头,所述导线贯穿所述防护头。
[0016]通过采用上述技术方案,防护头能够对导线的穿出部位起到一定的防护作用。
[0017]优选的,所述防护头远离所述柔性外罩的一侧对称开设有置物孔,所述柔性外罩的内壁对称固定连接有位于所述置物孔内部的密封环,所述密封环的内壁与所述导线的外壁相抵接。
[0018]通过采用上述技术方案,通过密封环能够对导线部位起到一定的密封防护作用,尽量避免液体顺着导线进入柔性外罩的内部。
[0019]综上所述,本专利技术包括以下有益技术效果:1、该基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器,设置的保护机构能够对第一柔性衬底和第二柔性衬底起到一定的保护作用,在本专利技术使用时能尽量避免出现液体进入第一柔性衬底与第二柔性衬底之间的情况,从而能够增强本专利技术的使用效果,增大本专利技术的使用寿命,第一碳纳米管层与第二碳纳米管层之间在受到挤压相互接触时能够进行导电,在第一碳纳米管层与第二碳纳米管层之间的接触面大小不同时,能够改变传输机构所输出的电阻大小,从而便于人员对压力进行监测,隔离机构能够限制第一碳纳米管层与第二碳纳米管层之间的位置,尽量避免第一碳纳米管层和第二碳纳米管层在未受到挤压时相互接触,生物胶层能够便于本专利技术直接进行粘贴使用。
[0020]2、该基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器,设置的柔性外罩通过开设的置物槽能够限制第一柔性衬底、第二柔性衬底、第一碳纳米管层、第二碳纳米管层和隔离机构的安装位置,同时起到一定的防水作用,弹性柱体能限制第一弹性筋和第二弹性筋的安装位置,第一弹性筋和第二弹性筋能限制第一碳纳米管层和第二碳纳米管层与弹性柱体之间的位置。
[0021]3、该基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器,设置的导线能够将电流进行传输,接线端子能够便于导线与监测设备进行连接,防滑条在人员拔插接线端子时能增大与手部的摩擦力,防护头能对导线的穿出部位起到一定的防护作用,密封环能够对导线部位起到一定的密封防护作用,尽量避免液体顺着导线进入柔性外罩的内部。
附图说明
[0022]图1是本专利技术实施例的整体结构示意图;图2是本专利技术实施例中的剖视结构示意图;图3是本专利技术实施例图2中的A处结构放大示意图;图4是本专利技术实施例图2中的B处结构放大示意图。
[0023]附图标记说明:1、保护机构;101、柔性外罩;102、置物槽;2、第一柔性衬底;3、第二柔性衬底;4、第一碳纳米管层;5、第本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器,包括保护机构(1),其特征在于:所述保护机构(1)的内壁顶部固定连接有第一柔性衬底(2),所述保护机构(1)的内壁底部固定连接有第二柔性衬底(3),所述第一柔性衬底(2)的下表面固定连接有第一碳纳米管层(4),所述第二柔性衬底(3)的上表面固定连接有第二碳纳米管层(5),所述第一碳纳米管层(4)与所述第二碳纳米管层(5)的接触面之间均匀固定连接有隔离机构(6),所述第一碳纳米管层(4)和所述第二碳纳米管层(5)的一侧均固定连接有传输机构(7),所述传输机构(7)的一端贯穿所述保护机构(1)为所述保护机构(1)的外部,所述保护机构(1)的下表面固定连接有生物胶层(8),所述生物胶层(8)的下表面粘贴有硅油纸层(9)。2.根据权利要求1所述的一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器,其特征在于:所述保护机构(1)包括柔性外罩(101),所述柔性外罩(101)的内部开设有置物槽(102),所述第一柔性衬底(2)、所述第二柔性衬底(3)、所述第一碳纳米管层(4)、所述第二碳纳米管层(5)和所述隔离机构(6)均位于所述置物槽(102)的内部。3.根据权利要求1所述的一种基于微纳结构的高灵敏度柔性压力传感器,其特征在于:所述隔离机构(6)包括位于所述第一碳纳米管层(4)与所述第二碳纳米管层(5)之间的弹性柱体(601),所述弹性柱体(60...

【专利技术属性】
技术研发人员:张台华陈建军薛海燕
申请(专利权)人:江苏荣生电子有限公司
类型:发明
国别省市:

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