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本发明公开了PI高温热熔铝基板蚀刻电路高精度晶圆用加热盘，包括底板、安装板和防护管，所述防护管滑动插设于底板内部，所述安装板与防护管的顶部固定连接，所述底板上设有与防护管对应的通口，所述通口内固定连接有多个导向块，所述防护管上设有与导向块对...
该专利属于深圳市圣柏林橡塑电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市圣柏林橡塑电子有限公司授权不得商用。

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