下载一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:38202366

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本发明涉及一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器及其制备方法,包括,基底;功能层,其包括设置在所述基底的氧化钛薄膜;下电极,其设置在所述功能层的上表面;上电极单元,其设置在所述功能层的上表面,所述上电极单元包括多个间隔设置的上电极,多个所述上电...
该专利属于苏州大学所有,仅供学习研究参考,未经过苏州大学授权不得商用。

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