一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器及其制备方法，包括，基底；功能层，其包括设置在所述基底的氧化钛薄膜；下电极，其设置在所述功能层的上表面；上电极单元，其设置在所述功能层的上表面，所述上电极单元包括多个间隔设置的上电极，多个所述上电极的末端所连成的直线和下电极所在的直线夹角为锐角；测量单元，其与所述下电极和上电极单元电连接。本发明专利技术测量的信号能够直接以电参量的形式输出，无需额外电源，简化了数据处理程序，从而实现湿度相关电信号的直接输出，对于微小的湿度变化也能产生响应，因此灵敏度高，且具有较高的精度，相较于现有的高精度传感器，本发明专利技术的结构简单，成本低，有利于降低生产成本。有利于降低生产成本。有利于降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器及其制备方法


[0001]本专利技术涉及水伏效应湿度传感器
，尤其是指一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]在工农业生产、气象、环保、国防、科研、航天等部门，经常需要对环境湿度进行测量及控制。但在常规的环境参数中，湿度是最难准确测量的一个参数。用干湿球湿度计或毛发湿度计来测量湿度的方法，适用于居家湿度监测需求，但是在一些需要精密控制湿度的领域，普通的湿度计无法满足需求。由于湿度受其他因素，如大气压强、温度的影响，因此获得精准的湿度以及湿度变化情况较为困难。
[0003]现有技术中，高精度湿度标定传感器设备多为国外生产，其价格十分昂贵。国内生产的高精度湿度传感器，需要额外的电源输入，进行内部数据处理，器件的功耗高，并且器件结构也更复杂，响应速度不够快，无法及时获得实时的湿度变化。

技术实现思路

[0004]为此，本专利技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中的不足，提供一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器及其制备方法，其测量信号能够直接以电参量形式输出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器，其特征在于：包括，基底；功能层，其包括设置在所述基底的氧化钛薄膜；下电极，其设置在所述功能层的上表面；上电极单元，其设置在所述功能层的上表面，所述上电极单元包括多个间隔设置的上电极，多个所述上电极的末端所连成的直线和下电极所在的直线夹角为锐角；测量单元，其与所述下电极和上电极单元电连接。2.根据权利要求1所述的一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器，其特征在于：还包括选择单元，所述测量单元通过选择单元和上电极相连。3.根据权利要求2所述的一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器，其特征在于：所述选择单元包括单刀多掷开关，所述单刀多掷开关的不动端连接所述测量单元，所述单刀多掷开关的动端用于和所述上电极相连。4.根据权利要求1所述的一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器，其特征在于：所述基底的材质为氧化铝陶瓷。5.根据权利要求1所述的一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器，其特征在于：还包括水槽，所述水槽用于盛放去离子水，所述传感器工作时，所述下电极浸入所述去离子水。6.一种基于水伏效应的自驱动湿度传感器的制备方法，其特征在于：包括，步骤S1，选取基底；步骤S2，在所述基底上添加氧化钛浆料，沿同一方向将所述氧化钛浆料刮至均匀，静置晾干，形成功能层；步骤S3，在所述功能层设置上下电极和上电极单元，使所述下电极所在的直线和上电极单元的末端所在的直线...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉生，袁先荣，孙宝全，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：