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包括拉伸应变和压缩应变的鳍片部分的鳍片堆叠制造技术
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下载包括拉伸应变和压缩应变的鳍片部分的鳍片堆叠的技术资料
文档序号:38195001
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提供了一种鳍式单片半导体结构、其制造方法和半导体器件。该鳍式单片半导体结构包括衬底层(21),相对于衬底层垂直延伸的鳍片结构,该鳍片结构包括垂直堆叠的层,其包括具有第一应变类型的底部半导体鳍区(34),具有第二应变类型的顶部层半导体鳍区(2...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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