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本发明提供了一种计量系统，该计量系统用于与移动端部工具(例如，探头)的移动系统一起使用。该计量系统包括传感器结构、光束源结构和处理部。该传感器结构包括多个光束传感器。该光束源结构将光束引导到该传感器结构的该光束传感器。该光束源结构或该传感器...
该专利属于株式会社三丰所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社三丰授权不得商用。

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