温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

发明公开了一种宽量程MEMS电容真空传感器及其制备方法，属于MEMS微机械加工领域和真空计量技术领域；包括玻璃盖板、SOI硅基底和硅基底；SOI硅基底的一面设有凹槽，凹槽内连接玻璃盖板；SOI硅基底的凹槽内设有硅感压膜，玻璃盖板用于保护硅感...
该专利属于江苏理工学院所有，仅供学习研究参考，未经过江苏理工学院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。