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本发明提供了一ＭＩＭ电容器及其制造方法，其中，所述电容器包括衬底；第一金属层，其形成于所述衬底之上；介电层，其覆盖所述第一金属层的表面；第二金属层，其形成于所述介电层的表面，其中，所述第一金属层是由多个金属颗粒连续排列而成。所述电容器的制造...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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