下载一种高精度的正弦摆线型衍射波片的光学压印制备方法的技术资料

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本发明公开了一种高精度的正弦摆线型衍射波片的光学压印制备方法,通过带有至少两层扭曲结构的正弦摆线型衍射波片作为偏振转换衍射波片来提高光学制备的精度,实现百纳米量级正弦摆线周期结构的光学压印。解决了基于偏振全息曝光系统制备正弦摆线型衍射波片速...
该专利属于湖南大学所有,仅供学习研究参考,未经过湖南大学授权不得商用。

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