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一种铜缀溶液及其使用方法技术
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文档序号:3815998
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本发明公开了一种铜缀溶液及其使用方法,其铜缀溶液包括A溶液和B溶液,A溶液和B溶液不能混合,其中A溶液为Cu(NO3)2在HF中的溶解液,B溶液为KOH在H2O中的溶解液。该铜缀溶液的使用方法是先用A溶液缀蚀重掺硅单晶20-40分钟;再将重...
该专利属于上海申和热磁电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海申和热磁电子有限公司授权不得商用。
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