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本发明公开一种功率器件及其制备方法、功率模块和车辆，功率器件包括：第一导电类型的漂移层；在漂移层的正面沿垂直于漂移层的方向依次设置有第二导电类型的阱区、第一导电类型的源区和第一发射极，在漂移层的背面至少设置有集电极；至少一个沟槽结构，每个沟...
该专利属于比亚迪半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过比亚迪半导体股份有限公司授权不得商用。

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