下载一种垂直双极性结型晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:38156458

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本发明提供一种垂直型双极性结型晶体管及其制作方法,该方法包括以下步骤:提供一基底,基底包括自下而上依次层叠的衬底层、第一绝缘层、中间层、第二绝缘层及器件层,将器件层转变为绝缘介质层,形成第一、第二沟槽于绝缘介质层中,形成第三、第四沟槽于第二...
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