下载降低氟化镁晶体空位缺陷的方法的技术资料

文档序号:38139466

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本发明公开了一种降低氟化镁晶体空位缺陷的方法,采用真空炉,真空炉内设置有支撑杆和加热器,所述支撑杆顶部设置有石墨托盘,所述支撑杆用于调节石墨托盘在真空炉内的高度,先切割清洗去除氟化镁晶体毛坯表面的杂质,随后在真空炉内的石墨托盘上用高纯度的氟...
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