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根据本公开，静电镜色像差（Cc）校正器包括本身包括多极子的静电电子镜。所述静电电子镜定位在所述校正器内，使得当所述校正器在使用中时，穿过所述校正器的电子束不会沿着所述镜的光轴入射在所述静电电子镜上。所述静电镜的镜物距等于所述静电镜的镜像距，...
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