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一种基于直驱式气浮平台的二级宏微相机镜头调焦装置制造方法及图纸
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下载一种基于直驱式气浮平台的二级宏微相机镜头调焦装置的技术资料
文档序号:38132021
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本发明公开一种基于直驱式气浮平台的二级宏微相机镜头调焦装置,包括宏动与微动调焦系统两级运动装置,其中调焦装置包括Z向宏动运动系统、Z向微动调焦系统、Y向微动调焦系统,宏动运动系统由平板直线电机、管型直线电机、管型弹性平衡装置、气体静压气浮平...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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