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本发明提供了一种半导体设备零部件状态预测方法、系统及可读存储介质，方法包括：获取零部件的历史工作数据；对所述历史工作数据进行预处理，获取用于表征所述零部件状态的关键特征；将所述零部件待预测的数据特征代入KNN模型中，得到所述零部件的状态预测...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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