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本发明提出一种基于共焦测量技术的调焦调平装置，包括照明光源、共焦测量传感器、投影物镜、硅片以及控制单元。照明光源发出光线；共焦测量传感器接收光线，形成影像；投影物镜连接共焦测量传感器；硅片接收影像；以及控制单元电性连接共焦测量传感器，并依据...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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