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本发明提供了一种用于处理基板的方法。所述用于处理基板的方法包括：监测步骤，其计算液体的流量，将计算出的液体的测量流量与正常状态下液体的设定流量进行比较，并确定所述测量流量是否发生错误；以及当在监测步骤中确定所述测量流量发生错误时进行的反馈步...
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