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本发明公开了一种基板处理系统，包括：一个以上的运送模块(20)，设置有运送机器人(22)；多个工艺模块(30)，执行预先设定的工艺；装载锁定模块(100)，暂时存放与运送模块20待交换的基板(S)；EFEM模块(10)，从装载锁定模块(10...
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