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一种用于处理基板的设备，其可以包括：加热板，构造成加热置于其上的基板；冷却传送器，包括传送器和第一冷却部件，传送器构造成传送加热的基板，第一冷却部件构造成在加热的基板在传送器上被传送的同时冷却加热的基板，并且构造成在传送器上方相对于加热的基...
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